潔凈廠房的設(shè)計與施工-216-新型空氣過濾器

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，尤其是超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)的飛躍發(fā)展，在潔凈室中除了要求控制微粒、微生物的濃度外，化學(xué)污染物或重金屬物質(zhì)對產(chǎn)品質(zhì)量和人員健康的影響也日益受到關(guān)注?？諝庵心軌蛭：Ξa(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量、引起產(chǎn)品成品率降低的化學(xué)污染物質(zhì)被稱為“分子級污染物（AMC）”。空氣中的AMC包括多種有害氣體和金屬離子，屬于酸性AMC的化學(xué)腐蝕性氣相物質(zhì)有氟化氫（HF）、二氧化硫（SO）、氯化氫（HCl）、氮氧化物（NO.）等；堿性AMC主要有氨（NE）、甲胺（CHNH）等；可凝性AMC是指在常溫常壓下能在干凈表面凝結(jié)的氣相物質(zhì)，如有機氣體、碳氫化合物等；摻雜性AMC是指能夠改變半導(dǎo)體材料性能的化學(xué)物質(zhì)，如硼~（B）、磷（P）、鉀（K）、鈉（Na）、鈣（Ca）和各種金屬離子等。