潔凈室復(fù)合氣流特性簡介

潔凈室復(fù)合氣流特性簡介 

復(fù)合類型是將湍流和層流合并或合并，可提供局部超凈空氣。 

（1）清潔隧道：使用HEPA或ULPA過濾器對過程區(qū)域或工作區(qū)域進(jìn)行100％的覆蓋，可將清潔度提高到10以上，從而可以節(jié)省安裝和運(yùn)營成本。 這種類型需要將操作員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機(jī)器維護(hù)隔離開，以避免在機(jī)器維護(hù)期間影響工作和質(zhì)量。此類型主要用于ULSI流程中。 清潔的隧道還有另外兩個優(yōu)點(diǎn)：A.靈活的擴(kuò)展很容易； B.設(shè)備的維護(hù)可以在維護(hù)區(qū)域輕松進(jìn)行。 

（2）清潔管：封閉并凈化產(chǎn)品加工過程所通過的自動生產(chǎn)線，并將清潔度提高到100以上。由于產(chǎn)品與操作員和粉塵產(chǎn)生環(huán)境隔離，因此少量空氣可以獲得良好的清潔度，可以節(jié)省能源，不需要人工的自動化生產(chǎn)線。適用于制藥，食品和半導(dǎo)體行業(yè)。 

（3）組合式局部潔凈室（Clean Spot）：將湍流潔凈室中產(chǎn)品加工區(qū)的潔凈度水平從10,000到100,000提高到10到1,000或更高；干凈的工作臺，干凈的工作棚和干凈的風(fēng)柜屬于此類。 無塵工作臺：1?100級。 潔凈棚：為了用防靜電透明塑料布在動蕩的潔凈室空間內(nèi)圍成一小塊空間，請使用獨(dú)立的HEPA或ULPA和空調(diào)鼓風(fēng)機(jī)單元作為更高級別的潔凈空間，等級為10? 1000，高度約為2.5米，占地面積小于10m2，可使用四個支柱和附加的可移動輪以提高靈活性。

昆山昌瑞空調(diào)凈化技術(shù)有限公司 ，專注從事空氣過濾器系列產(chǎn)品（初/中/高效、化學(xué)過濾器等）、 潔凈室凈化設(shè)備（拋棄式/可更換式/自動卷繞式過濾器、高效送風(fēng)口、FFU高效過濾器凈化機(jī)組）的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和售后。