“MAU+RCAU”系統(tǒng)的優(yōu)勢
“MAU+RCAU”系統(tǒng)的優(yōu)勢在一些溫濕度控制精度較高的的潔凈車間，每個車間需要獨(dú)立設(shè)置空調(diào)機(jī)組，這些空調(diào)機(jī)組都需設(shè)置新風(fēng)處理功能段等完整的功能段，這樣意味著所有空調(diào)箱五臟俱全，如果廠房內(nèi)潔凈車間較多時，空調(diào)箱數(shù)量就很多，會造成空調(diào)機(jī)房偏大，投資增加，維護(hù)工作量加大等不利因素。
如果采用新風(fēng)集中處理，再分配給各個空調(diào)凈化系統(tǒng)，這樣雖然增加了一臺新風(fēng)機(jī)組（MAU)，但是其他循環(huán)空調(diào)箱（RCAU)均減少了很多功能段，節(jié)省了設(shè)備投資也節(jié)省了空調(diào)機(jī)房面積及機(jī)房外墻新風(fēng)百葉開口數(shù)量。
在冬季室外氣溫較低的北方地區(qū)新風(fēng)往往要預(yù)熱，不然與一次回風(fēng)直接混合的時候很有可能產(chǎn)生冷凝水；潔凈車間一般部有濕度要求，冬季處理過程往往需要加濕空氣，因此白白加大了加濕負(fù)荷。夏季新風(fēng)含濕量高，溫度也高，與回風(fēng)直接混合后，有可能需要多級多排的表冷器來處理，大大加大了空調(diào)機(jī)組表冷器負(fù)擔(dān)。然而新風(fēng)集中處理后再送入循環(huán)空調(diào)箱與回風(fēng)混合，減少了循環(huán)空調(diào)箱的功能段及過濾器的更換頻率，降低了循環(huán)空調(diào)箱的風(fēng)機(jī)壓頭，避免了能源的浪費(fèi)。新風(fēng)作為潔凈室控制的重要污染源，集中預(yù)處理可以強(qiáng)化新風(fēng)的過濾和便于管理，為潔凈室運(yùn)行提供更安全的保障。
采用“MAU+RCAU”方式中，新風(fēng)處理到室內(nèi)送風(fēng)露點(diǎn)，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風(fēng)通過風(fēng)管送至各循環(huán)空調(diào)箱，經(jīng)與回風(fēng)混合后再通過表冷或者加熱處理來滿足潔凈室的溫度要求。這樣使?jié)崈艨照{(diào)系統(tǒng)的濕度和溫度分別由新風(fēng)處理機(jī)組和空調(diào)循環(huán)機(jī)組來負(fù)責(zé)，使溫度和濕度控制具有獨(dú)立性及可操作性，尤其是在潔凈室內(nèi)新風(fēng)量變化時其優(yōu)越性體現(xiàn)得更為明顯。
“MAU+RCAU”系統(tǒng)的控制方案
新風(fēng)機(jī)組（MAU)采用變頻風(fēng)機(jī)，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入循環(huán)機(jī)組(RCAU)的新風(fēng)支管上均設(shè)置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)(MAU)的風(fēng)機(jī)頻率，來控制新風(fēng)機(jī)組的總送風(fēng)量；
控制新風(fēng)機(jī)組（MAU)送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，使其與潔凈房間的送風(fēng)露點(diǎn)相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求。根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)加濕器的電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度；露點(diǎn)溫度“DPT”由檢查室內(nèi)濕度敏感元件“HE”連續(xù)整定。
凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機(jī)組（RCAU)來保證的，經(jīng)新風(fēng)處理機(jī)處理后的空氣狀態(tài)為潔凈房間的送風(fēng)露點(diǎn)，新回風(fēng)混合點(diǎn)一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器和加熱器回水管上的電動二通閥的開度。
一般情況下，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動，這些車間都可以使用“MAU+RCAU”系統(tǒng)。但在某些車間具有很大的室內(nèi)產(chǎn)濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線，采用新風(fēng)集中預(yù)處理系統(tǒng)就無法滿足要求，應(yīng)該考慮獨(dú)立的空氣處理方式；還有就是當(dāng)RCAU系統(tǒng)的新風(fēng)比均比較大的時候，使用“MAU+RCAU”系統(tǒng)也很難體現(xiàn)其優(yōu)勢。
